シリコンウェーハ洗浄機

シリコン洗浄機は主に物理学と化学を組み合わせる原理に基づいて動作します。シリコン材料は、特定の機械装置を介して洗浄液中で回転および振動するように駆動され、物理的な力を使用してシリコン材料の表面に付着した粉塵や不純物粒子などを除去します。同時に、シリコン材料の表面に存在する可能性のある金属酸化物、有機物などと化学的に反応し、洗浄液に可溶な物質に変換するための適切な化学洗浄液が選択され、それによって目的が達成されます。ディープクリーニングの。超音波洗浄機の超音波発生器から発せられる高周波振動信号は、トランスデューサーを介して高周波機械振動に変換され、中洗浄溶媒に伝播します。超音波は洗浄液中をまばらかつ高密度に前方に放射し、液体を流して直径 50-500μm の数万個の小さな泡を生成します。液体中の小さな泡は音場の作用で振動します。これらの気泡は、超音波が縦方向に伝播する負圧領域で形成および成長し、正圧領域では、音圧が一定の値に達すると、気泡が急速に増加し、その後突然閉じます。気泡が閉じると衝撃波が発生し、その周囲に数千気圧の圧力が発生し、不溶性の汚れが破壊され、洗浄液中に分散します。基粒子を油で包んで洗浄部の表面に付着させると、油が乳化され、固体粒子が分離され、洗浄部の洗浄目的を達成する。「キャビテーション」効果と呼ばれるこのプロセスでは、気泡が閉じると数百度の高温と 1,000 気圧を超える瞬間的な高圧が発生する可能性があります。

このタイプの装置は、太陽電池産業におけるシリコン材料およびリンシリコンガラスの洗浄および腐食に適しています。また、100mm*100mm、125mm*125mm、156mm*156mmなど、さまざまな種類の太陽電池結晶や多結晶シリコンウェーハの洗浄にも使用されます。PLC制御とタッチスクリーン操作を採用し、洗浄プロセス全体を手動および自動で実現します。設備全体はドイツから輸入したPPで作られており、構造デザインは美しく寛大です。この機器には、オペレーターの健康と安全を確保するための優れた排気システムが搭載されています。