SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1%以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。
高度な HBM/DRAM ポリボイドフリープロセス向け
UP-DLA システムは、高度な HBM/DRAM プロセスのポリ溶融アニーリングで使用され、SNC 深溝構造、キャビティ、欠陥修正を実現します。
特長
超高均一性(>99%)のトップハットスクエアレーザースポット
ビームサイズを柔軟に調整して金型別アニーリングを実現
高精度な視覚認識とアライメント補正
高精度エアフローティングステージ、ステップ/スキャン/シングルショットアニーリングを実現











