SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1%以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。
高度なロジック/メモリシリサイドプロセス向け
UP-NSLAレーザー アニーリング システムは、高度なロジック/メモリ シリサイド プロセスに適用され、優れたシリサイド オーミック コンタクトを実現し、ブリッジやパイピング効果などの問題を解決します
特長
高い均一性(>95%)のレーザーラインビーム
一体型ホットチャックにより安定した均一な予熱が可能
密閉された N2 チャンバー設計による酸素含有量の正確な制御
デュアルチャンバー構造により高いスループットを実現











