HCINLINE-V/HCINLINE-Hシリーズ 縦型・横型インライン塗布装置

インラインコーティング装置は、垂直、傾斜した5-7インチ垂直、および水平の3つの設計を提供できます。マグネトロンスパッタリング、蒸着、HiPIMS、PECVD、あるいはそれらの組み合わせといったコーティング技術を採用しています。大規模生産を最適化するために、自動ロードおよびアンロードシステムを選択できます。回転ターゲット技術は、平面ターゲットを置き換えて高いターゲット利用率を実現します。完全に非接触の磁気浮上ワークピースキャリア伝送システムは、最小限の粒子欠陥を実現します。回転チャンバーの設計コンセプトは、床面積を最小限に抑えるために採用されました。

特徴

●標準化されたモジュール化された設計です。
●片面・両面塗装可能です。
●カスタマイズ性が高く、高品質・低コストの要求に応えます。
● G2.5〜G8.5シリーズ、ターンキープロジェクトと包括的なアフターサービス。

アプリケーション

● エネルギー (太陽電池、電子ストレージ、バッテリー、Low-e ガラス)。
● 電子ディスプレイ (光学式、LED/OLED、RFID、ディスプレイ)。
● 半導体 (MRAM、磁気、ピエゾ、MEMS、センサー、自動車)。
● 消費財 (自動車、装飾品、機能性、医療)。