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SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1％以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。
製品の特徴
非接触ハンドリング: ウェーハに触れずにベルヌーイ気流によって吸着され、傷や汚れがつきにくく、薄い/脆いワークピースに適しています。
セラミックの強力な性能：アルミナ材料は硬く、耐摩耗性、耐熱性、耐食性があり、長期間使用しても変形したり剥離したりしません。
超クリーンで低妨害: セラミックは緻密で、不純物の沈殿がなく、粒子も少なく、静電気もなく、半導体の清浄度要件を満たしています。
正確な精度: 熱膨張係数が低く、温度が変化してもサイズが安定し、取り扱いと位置決めの誤差が小さく、チップの歩留まりを確保します。
幅広いシーン適応性：真空、高温、腐食環境（フォトリソグラフィー/エッチングなど）でも安定して動作し、複数の半導体プロセスをカバーします。
