SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1%以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。
当社は、ALD (原子層堆積)、CVD (化学蒸着)、および PVD (物理蒸着) システム向けにカスタム設計された、薄膜蒸着装置用の高性能キーコンポーネントを包括的に提供しています。当社の製品ラインナップには、ガスシャワーヘッド、ヒーターペデスタル、ウェーハサセプター、精密シールドセットなどの重要なモジュールが含まれています。
高純度アルミニウム合金、ステンレス鋼、高度なテクニカルセラミックスを利用し、5軸精密加工と特殊な表面処理(精密ビードブラストや硬質陽極酸化など)を活用しています。これらのプロセスにより、高温、腐食性、プラズマが豊富な環境において優れた耐久性が保証されます。厳格な品質管理を通じて、当社のコンポーネントは粒子汚染を最小限に抑え、メンテナンス サイクル (MTBC) を延長するように設計されており、お客様は優れた膜均一性と高いプロセス再現性を実現できます。











