SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1%以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。
製品の特徴
迅速な静電気除去: 導電性構造/コーティングにより、ウェーハを引き寄せたりチップに損傷を与えたりすることなく、静電気を素早く除去します。
超クリーン: セラミックは緻密で、切りくずや不純物の沈殿がなく、半導体のクリーンルームに適しています。
性能:アルミナなどのセラミックス製で、硬く、耐摩耗性、耐熱性、耐食性があり、長期間安定しています。
安定した精度:熱による膨張と収縮、正確な加工、ウェーハ移動時の位置決め誤差が小さく、チップの製造不良がありません。
使用可能なシーン: 真空、高温、腐食性半導体プロセス (リソグラフィー、エッチングなど)











