言語

+86 13916803451
ホーム / 製品 / 半導体関連 / 半導体装置（第3世代半導体を中心に） / 消耗品 / CMP研磨剤
CMP研磨剤
CMP研磨剤

CMP研磨剤

CMP研磨剤
見積依頼
  • 紹介
  • パラメータ

  • 応用分野

    半導体全般、ウェハ基板、STI、ILD、バリア層、銅研磨など

    製品の特徴

    ナノ粒子、正規分布、不純物が少ない。

    良好な分散性と良好な懸濁特性。

    研磨後のウェーハと集積回路はスクラッチマークが少なく、表面粗さが良好で、洗浄が簡単です。

    製品仕様

    酸化セリウム研磨液

    二酸化ケイ素研磨液

    酸化アルミニウム研磨液

    お客様の使用要件に応じてカスタマイズします。


    CMP研磨剤製品 - CeO2

    50nm、100nm、200nm、300～400nmなど、さまざまなサイズ仕様のナノメートルCeO2製品。



    修飾ナノCeO2シリーズ製品




    CMP研磨剤製品 - SiO2 鉄3O4




    CMP研磨剤製品 - アル2O3


    CMP研磨液製品 - 分散・懸濁管理



  • 試験品（固形分１％分散） 単位 測定値
    粒度分布 Dmax えーっと ≤0.4
    D50 えーっと 0.12～0.19
    不純物イオン ナ ppm <1
    K ppm <1
    Al ppm <1
    Fe ppm <1
    Cr ppm <1
    マグネシウム ppm <1
    ニ ppm <1
    銅 ppm <1
    亜鉛 ppm <1

    20°O₂
    分散剤 分散剤 OBS 分散剤 CMC-Na
    分散剤濃度 0.10% 0.20% 0.40% 0.50% 1.0% 2.0%
    pH ゼータ電位
    7 -44.8 -45 -43.7 -45.4 -43.2 -42.2
    6 -41.7 -42.9 -39 -37.8 -41.8 -39.4
    5 -33.2 -36 -37.4 -29.2 -28.7 -27.7
    4 -29.7 -28 -28.8 -25.7 -26.9 -30.8
    3 -25.4 -20.9 -25.3 -13.3 -24.9 -17.9

おすすめ商品

1986 年以来

SUNFUN GROUPについて

SUNFUNは40年にわたりスマートエネルギーとインテリジェント製造に専念し、パートナーに信頼できる先進技術とソリューションを提供してきました。
ミクロン単位の精密加工から百トン級の大型部品まで、0.1グラムから150トンの加工に対応し、エネルギー消費の変動を0.1％以内に管理しています。
イノベーションは、企業成長の原動力です。私たちは政府、大学、企業と連携し、産業の革新を推進。業界に継続的な活力をもたらしています。
自社の研究所と人材アカデミーを有するハイテク企業として、SUNFUNは十数件に及ぶ国家レベルの研究開発プロジェクトを担当し、国家発展改革委員会・科学技術部・工業情報化部などの主要案件にも参画しています。

  • 注意深いカスタマーサービス。
  • 優れた製品品質。
  • 迅速かつタイムリーな納品。
Shanghai SUNFUN Machinery Manufacturing Co., LTD

認証

品質を証明する各種認証・証書をご紹介します。

メッセージフィードバック
展示会とニュース
  • インテリジェント製造業

    インテリジェント製造は製造業改革の中核を担う存在となり、標準化・自動化・情報化・知能化といった多様な分野を包括しています。 グローバル経済と科学技術の急速な発展に伴い、インテリジェント製造は産業変革を推進する原動力として位置づけられています。これにより、製造業は新たな発展段階へと進化を遂げています。 標準化は、大量生産...

  • スマート製造の未来―産業変革を導く新たなブルーオーシャン

    科学技術の急速な進化が進む現代において、スマート製造は製造業の中核的な推進力となりつつあり、その発展余地は極めて大きく、産業全体に深く広い影響を与えています。AI（人工知能）、ビッグデータ、IoTなどの先端技術が次々と融合・応用されることで、スマート製造の可能性はさらに拡大しています。高度な自動化を実現するスマート工場...

  • スマート射出成形工場の研究

    21世紀に入り、スマート製造は新世代の情報技術と先進的な製造技術を深く融合させた新しい生産モデルとして、第4次産業革命を牽引する核心的な原動力となっています。自動化生産ラインから知能ロボット、大データ分析、IoT技術、さらには機械学習や人工知能の応用に至るまで、スマート製造は従来の製造業をより知能的・高効率・持続可能な...

消耗品 業界知識